Mesure du bruit propre des résonateurs MEMS

par Etienne Vaillant

Projet de thèse en Sciences pour l'Ingénieur

Sous la direction de Fabrice Sthal et de Joël Imbaud.

Thèses en préparation à Bourgogne Franche-Comté , dans le cadre de École doctorale Sciences pour l'ingénieur et microtechniques (Besançon ; Dijon ; Belfort) , en partenariat avec FEMTO-ST Franche Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique - Sciences et Technologies (laboratoire) et de Département Temps Fréquence (equipe de recherche) depuis le 30-09-2015 .


  • Résumé

    Ma thèse consiste à mesurer de nombreux résonateurs MEMS et a aider à mieux comprendre l'origine du bruit en 1/f qui est encore assez méconnue. Ces résonateurs se présentent comme une alternative aux quartz, avec un coût et des dimensions inférieurs. L'objectif principal du sujet est de proposer un système de mesure utilisant les sources ultra-performantes de la plateforme oscillateur-IMP et permettant ainsi de faire des mesures dans une large gamme de fréquence typiquement 100 kHz à 5 GHz.

  • Titre traduit

    Measurement of the inherent noise of MEMS resonators


  • Résumé

    My thesis consists is measuring many MEMS resonators and help to better understand the origin of the 1/f noise that is still relatively unknown. These resonators are presented as an alternative to quartz, with lower cost and dimensions. The main objective of the subject is to provide a measuring system using the high-performance sources of the oscillator-IMP plateform allowing measurements in a wide frequency range, typically from 100 kHz to 5 GHz.