Résultats 1 à 10

Dates de soutenance :


Etablissements :

Valider et fermer
  • Grenoble Alpes (38)
  • Grenoble (17)
  • Nantes (14)
  • Lille 1 (13)
  • Orléans (9)
  • Paris Saclay (9)
  • Grenoble 1 (7)
  • Lyon (6)
  • Toulouse 3 (4)
  • Paris 6 (3)
  • Toulouse, INSA (3)
  • Tours (3)
  • Bourgogne Franche-Comté (2)
  • Limoges (2)
  • Montpellier 2 (2)
  • Mulhouse (2)
  • Paris 11 (2)
  • Rennes 1 (2)
  • Université libanaise (2)
  • Aix-Marseille (1)
  • Aix-Marseille 2 (1)
  • Besançon (1)
  • Bordeaux (1)
  • Caen (1)
  • Cergy-Pontoise (1)
  • Clermont-Ferrand 2 (1)
  • Côte d'Azur (1)
  • Grenoble INPG (1)
  • Lyon, INSA (1)
  • Montpellier (1)
  • Palaiseau, Ecole polytechnique (1)
  • Paris 13 (1)
  • Paris Sciences et Lettres (1)
  • Sorbonne Paris Cité (1)
  • Toulouse, INPT (1)
  • Troyes (1)
  • Université de Lorraine (1)
  • Université de Sherbrooke (1)
  • Université de Sherbrooke (Québec, Canada) (1)
  • Université de Tsukuba - Japon (1)
  • Valenciennes (1)

Etablissements :

Fullscreen

Disciplines :

Valider et fermer
  • Nano electronique et nano technologies (16)
  • Physique (15)
  • Nanoélectronique et nanotechnologie (13)
  • Électronique (10)
  • Physique des plasmas (7)
  • Sciences et technologie industrielles (5)
  • Electronique (4)
  • Sciences appliquées (4)
  • Chimie (3)
  • Matériaux, mécanique, génie civil, électrochimie (3)
  • Micro et nano-électronique (3)
  • Micro-ondes et microtechnologies (3)
  • Chimie Physique (2)
  • Chimie des matériaux (2)
  • Electronique et Optoélectronique, Nano- et Microtechnologies (2)
  • Micro-électronique (2)
  • Nanophysique (2)
  • Optique et radiofrequences (2)
  • Science des matériaux (2)
  • Sciences des matériaux (2)
  • Sciences et techniques (2)
  • Automatique et productique (1)
  • Chimie Physique Moléculaire et Structurale (1)
  • Chimie théorique, physique, analytique – Biochimie et biologie moléculaire (1)
  • Electronique des Hautes Fréquences, Photonique et Systèmes (1)
  • Electronique des hautes fréquences, photonique et systèmes (1)
  • Electronique, microélectronique et nanoélectronique (1)
  • Electronique. Micro et nano technologie (1)
  • Genies des procédés (1)
  • Génie des procédés, Plasmas froids (1)
  • Génie électrique (1)
  • Instrumentation et analyses avancées (1)
  • Matériaux (1)
  • Matériaux et Composants pour l'Electronique (1)
  • Matériaux pour l'Electronique et Ingénierie des Plasmas (1)
  • Matériaux, Mécanique, Génie civil, Electrochimie (1)
  • Matériaux, Mécanique, Génie civil, Électrochimie (1)
  • Matériaux, Mécanique, Optique et Nanotechnologie (1)
  • Micro et Nano Technologies Acoustique et Télécommunications (1)
  • Micro et nanoélectronique (1)
  • Microondes et microtechnologies (1)
  • Microélectronique (1)
  • Microélectronique et technologie des semi-conducteurs (1)
  • Milieux denses et matériaux (1)
  • Milieux denses, matériaux et composants (1)
  • Molécules et matière condensée (1)
  • Mécanique (1)
  • Mécanique des fluides, procédés, énergétique (1)
  • Nano-physique, nano-composants, nano-mesures (1)
  • Optique et photonique (1)
  • Optique et radiofréquence (1)
  • Optoélectronique, technologie et composants de l'électronique (1)
  • Physique appliquée (1)
  • Physique des gaz et des plasmas (1)
  • Physique des matériaux (1)
  • Physique et nanophysique (1)
  • Physique et sciences de la matière (1)
  • Physique pour les sciences du vivant (1)
  • Physique, de la particule à la matière condensée (1)
  • Physique. Énergétique (1)
  • Plasmas et couches minces (1)
  • Science des matériaux (1)
  • Science des matériaux. Plasmas et couches minces (1)
  • Science des matériaux. Plasmas, couches minces (1)
  • Sciences de gestion (1)
  • Sciences de l'univers (1)
  • Sciences des polymères (1)
  • Sciences et génie des matériaux (1)
  • Sciences et technologies de l'information et de la communication (1)
  • Sciences pour l'Ingénieur (1)
  • Sciences pour l'ingénieur (1)
  • Spectroscopie optique et Nanomatériaux (1)
  • Électronique et génie électrique (1)
  • Électronique intégrée (1)

Disciplines :

Fullscreen

Ecoles Doctorales :

Valider et fermer
  • École doctorale électronique, électrotechnique, automatique, traitement du signal (Grenoble) (34)
  • École doctorale physique (Grenoble) (8)
  • École doctorale Ingénierie - matériaux mécanique énergétique environnement procédés production (Grenoble) (6)
  • École doctorale Énergie, Matériaux, Sciences de la Terre et de l'Univers (Centre-Val de Loire) (5)
  • Electronique, Electrotechnique, Automatique, Traitement du Signal (EEATS) (4)
  • École doctorale Electrical, optical, bio-physics and engineering (Orsay, Essonne ; 2015-....) (4)
  • École doctorale sciences et technologies de l'information et des matériaux (Nantes) (4)
  • École doctorale Matériaux, Matières, Molécules en Pays de la Loire (3MPL) (Le Mans) (3)
  • École doctorale Physique en Île-de-France (Paris) (3)
  • École doctorale Électronique, électrotechnique, automatique (Lyon) (3)
  • Ecole Doctorale Matériaux de Lyon (Villeurbanne) (2)
  • Ecole doctorale Sciences et technologies (Orléans) (2)
  • École Doctorale Sciences de la Matière (Toulouse) (2)
  • École doctorale INTERFACES : approches interdisciplinaires / fondements, applications et innovation (Palaiseau, Essonne ; 2015-....) (2)
  • École doctorale Sciences pour l'ingénieur et microtechniques (Besançon ; Dijon ; Belfort) (2)
  • École doctorale chimie et science du vivant (Grenoble) (2)
  • EMMA - Ecole Doctorale Energie - Mécanique - Matériaux (1)
  • Ecole Doctorale Physique et Sciences de la Matière (Marseille) (1)
  • Ecole doctorale Santé, sciences, technologies (Tours) (1)
  • Ecole doctorale Sciences pour l'Ingénieur (Troyes, Aube) (1)
  • I2S - Information, Structures, Systèmes (1)
  • École Doctorale Jean-Henri Lambert (1)
  • École Doctorale des Matériaux (Lyon) (1)
  • École doctorale Carnot-Pasteur (Besançon ; Dijon ; 2012-....) (1)
  • École doctorale Electrical, optical, bio-physics and engineering (Orsay, Essonne) (1)
  • École doctorale Galilée (Villetaneuse, Seine-Saint-Denis) (1)
  • École doctorale Mathématiques, télécommunications, informatique, signal, systèmes, électronique (Rennes) (1)
  • École doctorale Ondes et Matière (Orsay, Essonne ; 2015-....) (1)
  • École doctorale Sciences Ingénierie Santé (Saint-Etienne) (1)
  • École doctorale Sciences de la matière (Rennes) (1)
  • École doctorale Sciences et Ingénierie des Systèmes, Mathématiques, Informatique (Limoges) (1)
  • École doctorale Sciences et ingénierie (Cergy-Pontoise, Val d'Oise) (1)
  • École doctorale Sciences et ingénierie pour l'information, mathématiques (Limoges ; 2009-2018) (1)
  • École doctorale Sciences et technologies de l'information et mathématiques (Nantes) (1)
  • École doctorale Sciences fondamentales et appliquées (Nice) (1)
  • École doctorale Sciences pour l'Ingénieur (Lille) (1)
  • École doctorale Végétal-Environnement-Nutrition-Agro-Alimentaire-Mer (Angers) (1)
  • École doctorale des sciences physiques et de l’ingénieur (Talence, Gironde) (1)
  • École doctorale des sciences pour l'ingénieur (Clermont-Ferrand) (1)
  • École doctorale pluridisciplinaire Jean-Henri Lambert, ED 494 (Mulhouse) (1)
  • École doctorale terre, univers, environnement (Grenoble) (1)
  • École doctorale Économie, organisations, société (Nanterre) (1)

Ecoles Doctorales :

Fullscreen

Langues :

Valider et fermer
  • français (137)
  • anglais (11)
  • null (5)

Langues :

Fullscreen

Directeurs de thèse :

Valider et fermer
  • Joubert Olivier Pierre Etienne (13)
  • Cardinaud Christophe (6)
  • Pargon Erwine (6)
  • Cunge Gilles (5)
  • Possémé Nicolas (5)
  • Dussart Rémi (4)
  • Ranson Pierre (4)
  • Rhallabi Ahmed (4)
  • Alquier Daniel (3)
  • Bsiesy Ahmad (3)
  • Collard Dominique (3)
  • Lacoste Ana (3)
  • Vallier Laurent (3)
  • Borsali Redouane (2)
  • Broquin Jean-Emmanuel (2)
  • Bucci Davide (2)
  • Buchaillot Lionel (2)
  • Decoster Didier (2)
  • Di Cioccio Léa (2)
  • Gicquel Alix (2)
  • Johnson Erik (2)
  • Mouis Mireille (2)
  • Portal Jean-Claude (2)
  • Sadeghi Nader (2)
  • Théron Didier (2)
  • Turban Guy (2)
  • Vidal Frédéric (2)
  • Zelsmann Marc (2)
  • Achard Jocelyn (1)
  • Almuneau Guilhem (1)
  • Argoud Maxime (1)
  • Arnault Jean-Charles (1)
  • Arscott Stephen (1)
  • Ballandras Sylvain (1)
  • Bano Edwige (1)
  • Baron Thierry (1)
  • Baudrand Henri (1)
  • Besacier Maxime (1)
  • Besland Marie-Paule (1)
  • Bienfait Michel (1)
  • Bila Stéphane (1)
  • Bluet Jean-Marie (1)
  • Boireau Wilfrid (1)
  • Bonnaud Olivier (1)
  • Borel Stéphan (1)
  • Bosseboeuf Alain (1)
  • Boufendi Laïfa (1)
  • Boufnichel Mohamed (1)
  • Boussey Jumana (1)
  • Bouvet Marcel (1)
  • Bouysse Philippe (1)
  • Bruyant Aurélien (1)
  • Brylinski Christian (1)
  • Buisson Olivier (1)
  • Buttard Denis (1)
  • Camps Thierry (1)
  • Carette Michèle (1)
  • Cartry Gilles (1)
  • Cassan Éric (1)
  • Cattan Eric (1)
  • Chabert Pascal (1)
  • Chaix Jean-Marc (1)
  • Chante Jean-Pierre (1)
  • Chevolot Yann (1)
  • Cheynis Fabien (1)
  • Chollet Franck (1)
  • Clanet Christophe (1)
  • Collard Emmanuel (1)
  • Constancias Christophe (1)
  • Constant Eugène (1)
  • Constant Monique (1)
  • Courjal Nadège (1)
  • Darmanin Thierry (1)
  • Darnon Maxime (1)
  • David Thibaut (1)
  • Defaÿ Emmanuel (1)
  • Despiau-Pujo Emilie (1)
  • Dieny Bernard (1)
  • Directeur de thèse inconnu (1)
  • Doppelt Pascal (1)
  • Drouin Dominique (1)
  • Duan Guang-Hua (1)
  • Dubois Emmanuel (1)
  • Dupuis Dominique (1)
  • Ernst Thomas (1)
  • Floner Didier (1)
  • Fortunier Roland (1)
  • Fremont Hélène (1)
  • Fretigny Christian (1)
  • Frigui Kamel (1)
  • Gautier Brice (1)
  • Gautier Gaël (1)
  • Gendry Michel (1)
  • Geneste Florence (1)
  • Gheeraert Etienne (1)
  • Gouraud Pascal (1)
  • Gourgon Cécile (1)
  • Granet Gérard (1)
  • Guiffard Benoît (1)
  • Guittard Frédéric (1)
  • Guldner Yves (1)
  • Haidara Hamidou (1)
  • Halila Sami (1)
  • Herro Ziad (1)
  • Jacob Véronique (1)
  • Joisten Hélène (1)
  • Jouan Pierre-Yves (1)
  • Landesman Jean-Pierre (1)
  • Lascaray Jean-Paul (1)
  • Latu-Romain Laurence (1)
  • Laur Jean-Pierre (1)
  • Lazar Mihai Bogdan (1)
  • Le Masson Pascal (1)
  • Leclercq Jean-Louis (1)
  • Legrand Bernard (1)
  • Lemoine Jérôme (1)
  • Leverd François (1)
  • Maher Hassan (1)
  • Manceau Jean-François (1)
  • Maret Mireille (1)
  • Marris-Morini Delphine (1)
  • Martincic Emile (1)
  • Maître Agnès (1)
  • Mercey Bernard (1)
  • Meunier-Prest Rita (1)
  • Michaud Jean-François (1)
  • Morel Hervé (1)
  • Muret Pierre (1)
  • Mélin Thierry (1)
  • Müller Pierre (1)
  • Ouerghi Abdelkarim (1)
  • Ouisse Thierry (1)
  • Pelletier Jacques (1)
  • Pignard Stéphane (1)
  • Pimenta-barros Patricia (1)
  • Plesse Cédric (1)
  • Possémé Nicolas (1)
  • Poucques Ludovic de (1)
  • Quéré David (1)
  • Quéré Raymond (1)
  • Ralet Marie-Christine (1)
  • Ribes Guillaume (1)
  • Robert Stéphane (1)
  • Rogel Régis (1)
  • Roqueta Fabrice (1)
  • Roussy Agnès (1)
  • Saada Samuel (1)
  • Sadki Saïd (1)
  • Schanen Duport Isabelle (1)
  • Schuster Karl-Friedrich (1)
  • Schué François (1)
  • Sharaiha Ala (1)
  • Simon Patrice (1)
  • Sinturel Christophe (1)
  • Soltani Ali (1)
  • Stiévenard Didier (1)
  • Ségui Yvan (1)
  • Taberna Pierre-Louis (1)
  • Taliercio Thierry (1)
  • Templier François (1)
  • Ternon Céline (1)
  • Tiron Raluca (1)
  • Trevisiol Emmanuelle (1)
  • Vallée Christophe (1)
  • Vanbésien Olivier (1)
  • Vieu Christophe (1)
  • Vilcot Jean-Pierre (1)
  • Villard Catherine (1)
  • Vincent Laetitia (1)
  • Volpi Fabien (1)
  • Weil Benoît (1)
  • Zaknoune Mohammed (1)
  • Zamaï Eric (1)

Directeurs de thèse :

Fullscreen

Domaines :

Valider et fermer
  • Sciences de l'ingénieur (93)
  • Physique (60)
  • Chimie, minéralogie, cristallographie (12)
  • Technologie (Sciences appliquées) (6)
  • Sciences de la nature et mathématiques (3)
  • Fabrication industrielle (2)
  • Informatique (1)
  • Sciences de la terre (1)
  • Sciences de la vie, biologie, biochimie (1)
  • Gestion et organisation de l'entreprise (1)
  • Fabrication de produits à usages spécifiques (1)

Domaines :

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157 thèses pour "Gravure par plasma"

...générées pendant les procédés de gravure par plasma. Mis appart cette modification de la rugosité du Ti...

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...la gravure par plasma provoque toujoursl’endommagement de la surface du matériau gravé. L...

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....Bai2006, M.Dar2007, R.Bou2009, J.Duc2011] pour le BEOL. B. La gravure par plasma Parmi les étapes de...

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..., réalisé par photolithographie, lors de la gravure. De ce fait, la gravure par plasma est, avec la...

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...fabrication des circuits intégrés, la gravure par plasma constitue l’une des clefs de cette miniaturisation...

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...point d’un procédé de gravure par plasma de H2 N2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 986.6.1 Pression...

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