Étude et réalisation de couches de diffusion de gaz en silicium poreux appliquées à la fabrication de micropiles à hydrogène
Auteur / Autrice : | Sébastien Desplobain |
Direction : | Laurent Ventura, Gaël Gautier |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Electronique |
Date : | Soutenance le 25/05/2009 |
Etablissement(s) : | Tours |
Ecole(s) doctorale(s) : | Ecole doctorale Santé, sciences, technologies (Tours) |
Partenaire(s) de recherche : | Equipe de recherche : Laboratoire de microélectronique de puissance (Tours) |
Laboratoire : École polytechnique universitaire (Tours) | |
Jury : | Président / Présidente : Pascal Brault |
Examinateurs / Examinatrices : François Tran van | |
Rapporteurs / Rapporteuses : Bernard Gauthier-Manuel, Boudjemaa Remaki |
Mots clés
Résumé
L'objectif de cette thèse a consisté à étudier des procédés de fabrication de couches de diffusion de gaz (GDL) en silicium poreux appliqués à l'intégration de micropiles à combustible de type PEMFC sur plaquette de silicium. Deux types de couches ont été étudiés : sur surface plane (2D) et sur surface texturée (3D). Les couches de diffusion de gaz ont été réalisées par l'anodisation de silicium de type N fortement résistif. Une localisation des motifs poreux a été obtenue par ouverture d'un masque en polysilicium sur oxyde thermique de silicium. Seules les GDL 2D entièrement macroporeuses assuraient un débit d'hydrogène compatible avec les objectifs de fabrication d'une micropile prototype. Le prototype a permis de valider la compabilité de la couche de diffusion de gaz avec les étapes d'empilement des couches actives constitutive de la micropile. Son fonctionnement nous a permis d'atteindre une densité de puissance de 250 mW/cm².