Développement et réalisation de structures Silicium et Silicium-Germanium par RTCVD et leur intégration dans les technologies BiCMOS et CMOS avancées
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Auteur / Autrice : | Pascal Ribot |
Direction : | Gilbert Vincent, Didier Dutartre, Jorge Regolini |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Electronique, microélectronique |
Date : | Soutenance en 2001 |
Etablissement(s) : | Université Joseph Fourier (Grenoble ; 1971-2015) |
Partenaire(s) de recherche : | Entreprise : France Télécom R&D - STMicroelectronics (Crolles, Isère) |
Jury : | Président / Présidente : Françoise Meyer |
Examinateurs / Examinatrices : Alec Reader | |
Rapporteurs / Rapporteuses : Françoise Meyer, Jacques Derrien |
Mots clés
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