Conception réalisation et caractérisation de structures micro-usinées sur silicium : applications aux micro-systèmes millimétriques

par Katia Grenier

Thèse de doctorat en Électronique

Sous la direction de Jacques Graffeuil, Patrick Pons et de Robert Plana.

Soutenue en 2000

à Toulouse 3 .

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Informations

  • Détails : 198 f.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. f. 183-187

Où se trouve cette thèse\u00a0?

  • Bibliothèque : Université Paul Sabatier. Bibliothèque universitaire de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 2000TOU30179
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