Recherche Avancée

Thèse soutenue

Élaboration de nouveaux procédés de fabrication de microcapteurs de rayonnement : application à la réalisation de microradiomètres UV et IR

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Auteur / Autrice : Katir Ziouche
Direction : Didier Leclercq
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Électronique
Date : Soutenance en 1999
Etablissement(s) : Lille 1

Résumé

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Ce travail de thèse a permis de faire progresser le thème de recherche de l'équipe dédié aux microradiomètres infrarouges et d'ouvrir un nouveau champ d'application : la détection dans l'ultraviolet. Ces nouvelles réalisations ont nécessité des sensibilités nettement plus élevées, obtenues à partir de nombreuses études et du développement de nouvelles technologies adaptées qui ont du être mises au point. Dans un premier temps, un modèle analytique a permis d'ajuster les paramètres structurels des microcapteurs pour optimiser la sensibilité à l'éclairement énergétique. Afin d'établir les caractéristiques des matériaux couches minces utilisées dans la fabrication des capteurs, il a fallu étudier le revêtement supérieur à différentiel d'absorption dont la fonction est de sélectionner la plage active de fréquence. Dans ce but, un procédé original de caractérisation a été élaboré pour mesurer l'absorptivité moyenne de différents métaux réflecteurs IR. Par ailleurs, les matériaux présentant les meilleures qualités d'absorption IR ont été déterminés par analyse spectroscopique. Par la suite, l'utilisation de nouvelles technologies a mené au développement de capteurs nettement plus sensibles grâce à la mise en oeuvre d'une résolution plus fine, de matériaux thermoélectriques plus performants, de substrats polymères de conductivité thermique plus faible tel le kapton. L'ensemble de ces travaux a conduit à multiplier par 10 la sensibilité des radiomètres, ce qui a permis d'étendre le champ d'application dans l'ultraviolet à partir de nouveaux revêtements très sélectifs dans cette bande.