Etude des phenomenes d'instabilite en pulverisation r. F. Et d. C. Reactive : approche theorique du procede multicible pour l'elaboration de multicouches periodiques tixcryoz

par Nicolas Martin

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Daniel Rondot.

Soutenue en 1997

à Besançon .

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  • Résumé

    La pulverisation d'une cible metallique dans une atmosphere reactive engendre generalement une instabilite des parametres de depots qui se manifeste par un phenomene d'hysteresis. Dependante avant tout de facteurs intrinseques au materiau elabore, cette zone de transition presente egalement d'etroites correlations avec les conditions experimentales. En se basant sur une modelisation decrite et largement reprise dans la litterature, l'etude theorique des couples ti - o#2 et cr - o#2 montre que ces systemes produisent une zone instable d'allure globale similaire. Une confrontation avec les resultats pratiques montre pourtant certaines differences probablement causees par la nature du materiau et par certaines hypotheses posees lors de la modelisation. Une comparaison entre la pulverisation d. C. Et r. F. Montre aussi que le type de polarisation influence fortement les instabilites du procede reactif. L'analyse des proprietes des films est egalement abordee conduisant alors a d'evidentes relations avec les parametres experimentaux. La mise en oeuvre de deux plasmas decouples est utilisee pour preparer des multicouches titane chrome. Un developpement theorique est propose de maniere a determiner la periodicite des alternances metal - metal. L'introduction de l'oxygene conduit alors a l'interrogation : une ou deux hysteresis ? un essai de modelisation tente de repondre a cette question et permet d'entrevoir les comportements inattendus et les nouvelles potentialites de la pulverisation reactive multicible.

  • Titre traduit

    Investigation of the instability phenomena of r. F. And d. C. Reactive sputtering : a theoretical approach of the multitarget process for the preparation of tixcryoz periodical multilayers


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Informations

  • Détails : 201 P.
  • Annexes : 300 REF.

Où se trouve cette thèse\u00a0?

  • Bibliothèque : Bibliothèque universitaire Sciences Sport Claude Oytana (Besançon).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : SCI.BESA.1997.94
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