Microélectronique hybride couches épaisses : conception, hybridation et évaluation de capteurs : évaluation de la technologie par des méthodes d'analyses physiques et physico-chimiques non destructives

par Yves Ousten

Thèse de doctorat en Électronique

Sous la direction de Jean-Louis Aucouturier.

Soutenue en 1989

à Bordeaux 1 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Une premiere partie de ce travail concerne la realisaiton de capteurs integres. A travers trois exemples: jauges de contraintes, varistances, capteur de proximite, l'auteur montre l'interet de la technologie hybride couches epaisses pour l'integration de capteurs, qui permet l'association, sur un meme substrat, du systeme de detection et de l'electronique de conversion ou d'alimentation. L'utilisation de techniques de caracterisation non destructives, telles que la rbs (rutherford backscattering spectrometry) ou le sam (scanning acoustic microscope) est necessaire, car le niveau d'integration des capteurs en technologie couches epaisses devient tres important. Une de ces techniques, la microscopie acoustique, a ete particulierement etudiee dans son application a la caracterisation des materiaux et des processus utilises dans l'integration de capteurs en technologie hybride couches epaisses

  • Titre traduit

    Thick film hybrid technology. Design, integration and evaluation of sensors, evaluation of the technology by non destructive physical analysis


  • Pas de résumé disponible.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 236 p

Où se trouve cette thèse\u00a0?

  • Bibliothèque : Université de Bordeaux. Direction de la Documentation. Bibliothèque Sciences et Techniques.
  • Accessible pour le PEB
  • Bibliothèque : Université de Bordeaux. Direction de la Documentation. Bibliothèque Sciences et Techniques.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : FT 89.B-317
  • Bibliothèque : Université de Bordeaux. Direction de la Documentation. Bibliothèque Sciences et Techniques.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : FTR 89.B-317
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.