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Gilles Cunge

Gilles Cunge a dirigé les 9 thèses suivantes :

Développement de gravures ultra sélectives de matériaux diélectriques par plasma déporté, pour des applications dans la micro-électronique

Etude de la gravure du SiN contrôlée a l'échelle atomique par implantation d'O2 suivi de gravure ultra-sélective SiO2/SiN en plasma déporté NF3/NH3

Lithographie à très haute résolution par l'auto-assemblage du PS-b-PDMS et les gravures plasma associées : application à la fabrication de matrices de nanorubans de graphène

Développement d'une nouvelle technique d'analyse pour les nanosctructures gravées par plasmas : (S)TEM EDX quasi in-situ

Développement de nouvelles technologies de gravure : mise en évidence de la stochasticité du bombardement ionique lors de procédés plasma industriels

Nouvelle technologie utilisant les plasmas H2 et He pour contrôler la gravure de couches ultraminces à l’échelle nanométrique

Développement de procédés de gravure plasma innovants pour les technologies sub-14 nm par couplage de la lithographie conventionnelle avec l'approche auto-alignée par copolymère à blocs

MD simulation of H2 plasma/graphene interaction for innovative etching processes development

Miniaturisation des grilles de transistors : Etude de l'intérêt des plasmas pulsés

Gilles Cunge

Gilles Cunge a dirigé les 9 thèses suivantes :

Développement de gravures ultra sélectives de matériaux diélectriques par plasma déporté, pour des applications dans la micro-électronique

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