Etude de miroirs multicouches X en réflexion et lumière diffuse : application à l'analyse des multicouches implantées et à la fabrication d'optiques diffractives

X-ray reflection and diffuse scattering from multilayer mirrors. Application for analysis of implanted multilayer and for fabrication of diffractive optics

• Auteur / Autrice : Hugues Trambly de Laissardière
• Direction : Bernard Vidal
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Optique
• Date : Soutenance en 1997
• Etablissement(s) : Aix-Marseille 3

Mots clés

Mots clés contrôlés

Ions -- Implantation

Rugosité

Optique

Résumé

Ce travail a pour objet la realisation d'optiques diffractives x, a partir de multicouches w/si utilisees comme substrats. L'amelioration de la reflectivite des miroirs multicouches x necessite une determination precise des rugosites interfaciales obtenue par l'analyse de l'intensite diffusee. Nous avons realise un diffractometre a rayons x de haute resolution angulaire, entierement automatise, pour effectuer des mesures de la lumiere diffusee par les multicouches et de celle diffractee par les reseaux. Pour l'analyse de l'intensite diffusee, nous avons developpe un modele de representation des interfaces qui, associe a la theorie dwba, fournit des renseignements sur la structure laterale des empilements. Ce modele rend compte de l'evolution du profil des rugosites, en fonction du rang de la couche deposee, et du degre de correlation verticale. Afin de fabriquer des reseaux implantes, nous avons effectue une etude sur des multicouches bombardees par des ions o#+ de forte energie (180 kev). Les analyses aux rayons x permettent de suivre les mecanismes de transport atomique sur des distances de quelques nanometres. Les resultats obtenus ont montre la faisabilite theorique de reseaux implantes, que nous appelons reseaux d'indices. Les parties evidees des reseaux conventionnels sont remplacees par des parties ou les couches sont melangees. Nous avons compare les efficacites des reseaux graves et des reseaux implantes. Ces derniers possedent des pouvoirs diffractants tres proches de ceux des reseaux conventionnels. Les reseaux d'indices, qui gardent une structure massive apres irradiation, presentent de ce fait, une meilleure resistance aux contraintes mecaniques. Ils devraient permettre de realiser de nouvelles optiques, obtenues par superposition de plusieurs structures diffractives pour lesquelles les surfaces restent planes.