Recherche Avancée

Thèse soutenue

Synthèse et caractérisation de nouveaux précurseurs moléculaires inorganiques pour le dépôt de films d'oxydes métalliques multifonctionnels par CBVD (Chemical Beam Vapour Deposition)

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Auteur / Autrice : Diane Bijou
Direction : Stéphane Daniele
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Chimie
Date : Soutenance le 20/07/2018
Etablissement(s) : Lyon
Ecole(s) doctorale(s) : École doctorale de Chimie (Lyon ; 2004-....)
Partenaire(s) de recherche : établissement opérateur d'inscription : Université Claude Bernard (Lyon ; 1971-....)
Laboratoire : Institut de Recherches sur la Catalyse et l'Environnement de Lyon (Villeurbanne, Rhône)
Jury : Président / Présidente : Didier Léonard
Examinateurs / Examinatrices : Stéphane Daniele, Estelle Wagner, Nathanaëlle Schneider
Rapporteurs / Rapporteuses : Graziella Malandrino, Mikhael Bechelany

Mots clés

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Mots clés contrôlés

Oxydes métalliques
Couches minces
Amino-alcools
Alcoolates

Mots clés libres

Alcoxydes
Amino-alcools
Dicétones
Oxydes
CBVD
Couches minces
Caractérisations

Résumé

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Dans ce manuscrit, un travail hautement multidisciplinaire, de la synthèse de ligands organiques à la caractérisation de couches minces, est présenté. L'objectif principal de cette étude était d'élaborer de nouveaux précurseurs de niobium, de titane et d'alcalino-terreux adaptés au procédé de dépôt de couches minces par CBVD développé par la société 3D-OXIDES. Afin de répondre aux exigences de ce procédé, deux classes innovantes de dérivés moléculaires à base de ß-amino-alcool ou de ß-dicétone ?-modifiée ont été élaborées grâce à la synthèse organique de nouveaux ligands. Les complexes métalliques ont ensuite été entièrement caractériser et leur intérêt respectif dans le processus de dépôt par CBVD a été étudié à travers la détermination des pressions de vapeur, les taux de croissance, les caractérisations spectroscopiques et analyses des couches minces