@PHDTHESIS{belha2016, url = "http://www.theses.fr/2016LIL10034", title = "Conception de BioMEMS assistée par plasma froid : nouvelles approches", author = "Belhacene, Kalim", year = "2016", note = "Thèse de doctorat dirigée par Supiot, Philippe et Froidevaux, Rénato Micro et Nanotechnologie, Acoustique et Télécommunication Lille 1 2016", note = "2016LIL10034", url = "http://www.theses.fr/2016LIL10034/document", }