@PHDTHESIS{ngamo2010, url = "http://www.theses.fr/2010ROUES014", title = "Redistribution du bore et de l'arsenic implantés dans le silicium : apport de la sonde atomique tomographique", author = "Ngamo Toko, Michel", year = "2010", pages = "1 vol. (182 p.)", note = "Thèse de doctorat dirigée par Kétata, Kaouther et Pareige, Philippe Physique. Sciences des matériaux. Microélectronique Rouen 2010", note = "2010ROUES014", }