= Impacts mécaniques et thermomécaniques dans les produits de la microélectronique : effets des contraintes résiduelles et déformations, recherches et développements de méthodes numériques dans un cadre industriel
Auteur / Autrice : | Vincent Fiori |
Direction : | Alain Combescure |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Mécanique |
Date : | Soutenance en 2010 |
Etablissement(s) : | Lyon, INSA |
Ecole(s) doctorale(s) : | Ecole doctorale Mécanique, Energétique, Génie Civil, Acoustique (Villeurbanne2011-....) |
Partenaire(s) de recherche : | Laboratoire : LaMCoS - Laboratoire de Mécanique des Contacts et des Structures (Lyon, INSA2007-....) |
Mots clés
Mots clés contrôlés
Résumé
Ce document propose au lecteur quelques éclairages sur l’industrie de la microélectronique : Il doit permettre à un public non expert du domaine des semi conducteurs une large compréhension des problématiques mécaniques et thermomécaniques rencontrées lors des développements technologiques des produits. Aussi, des exemples techniques spécifiques sont choisis. Ceux-ci illustrent des travaux de recherches appliquées visant à répondre aux besoins industriels de la course à la miniaturisation et l’amélioration des performances. En première partie les généralités du marché, les grandes tendances technologiques, ainsi que les procédés de fabrication sont décrits. L’attention est portée ensuite sur les phénomènes d’origines mécaniques qui se manifestent durant l’élaboration ou la qualification des puces. Les challenges à relever, les compromis à concéder dans un cadre industriel concernant les besoins numériques et expérimentaux pour faire face à ces problématiques sont soulignés. Enfin, quelques travaux internes de développement d’outils numériques et leur application sont illustrés par des exemples. Des stratégies de simulations particulières, incluant des modélisations multi échelles, techniques d’homogénéisation et calcul d’index de défaillance énergétiques dédiés, permettent d’une part d’améliorer la compréhension des physiques mises en jeux et d’autre part d’optimiser les architectures. L’usage quotidien de ces travaux contribue à l’amélioration des performances électriques et la diminution des pertes de rendement. En fournissant des règles dans les phases amonts de conception des architectures, les temps de mise sur le marché de nouveaux produits et leurs coûts de développement sont ainsi diminué