TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2008TROY0021
TI  - Lithographie haute résolution assistée par plasmons de surface
AU  - Consonni, Marianne
A3  - Lérondel, Gilles
PY  - 2008
SP  - 1 vol. (viii-126 p.)
N1  - Thèse de doctorat Optique et nanotechnologies Troyes 2008
N1  - 2008TROY0021
ER  -