TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2006GRE10248
TI  - Influence des défauts enterrés dans les masques pour la lithographie Extrême Ultra Violet
AU  - Farys, Vincent
A3  - Schiavone, Patrick
PY  - 2006
SP  - 1 volume (ix-188 pages)
N1  - Thèse de doctorat Optique et radiofréquence Université Joseph Fourier (Grenoble ; 1971-2015) 2006
N1  - 2006GRE10248
ER  -