Conception et modélisation de MEMS monolithiques CMOS en technologie FSBM : application aux accéléromètres

par Aboubacar Chaehoi

Thèse de doctorat en Électronique, optronique et système

Sous la direction de Pascal Nouet et de Salvatore Baglio.

Soutenue en 2005

à Montpellier 2 .

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Cette thèse a donné lieu à une publication en 2008 par [CCSD] [diffusion/distribution] à Villeurbanne

Conception et modélisation de MEMS monolithiques CMOS en technologie FSBM : application aux accéléromètres

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Informations

  • Détails : 1 vol. (151 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliographie p. 141-147. Liste des publications de l'auteur

Où se trouve cette thèse\u00a0?

  • Bibliothèque : Bibliothèque interuniversitaire. Section Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS 2005.MON-76
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