TY  - THES
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		http://www.theses.fr/2004STR13215
TI  - Study of nano-roughness for silica-on-silicon technology by scanning electron microscopy and light scattering
AU  - Bony, Alexis
A3  - Meyrueis, Patrick
PY  - 2004
SP  - 1 vol. (122 p.)
N1  - Thèse de doctorat Photonique et image Strasbourg 1 2004
N1  - 2004STR13215
ER  -