Recherche Avancée

Thèse soutenue

Fabrication de réseaux de Bragg particuliers par lithographie électronique : application à la réalisation de dispositifs photoniques et optoélectroniques sur matériaux de la filière InP

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Auteur / Autrice : Sophie Garidel
Direction : Didier Decoster, Jean-Pierre Vilcot
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Micro-ondes et microtechnologies
Date : Soutenance en 2004
Etablissement(s) : Lille 1

Résumé

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Ce travail fait état de l'étude technologique et expérimentale de nouveaux dispositifs photoniques intégrant des réseaux de Bragg particuliers. Les réseaux de Bragg offrent une solution intéressante pour construire aussi bien des filtres optiques intégrés que des émetteurs compacts dans le cadre de l'émergence de nouvelles fonctions pour les communications optiques. L'étude de la théorie des réseaux de Bragg nous a permis de voir les limites des réseaux de Bragg dits classiques. Les réseaux de Bragg dits particuliers, comme les réseaux échantillonnés ou les réseaux verticaux semblent alors très interessants de part les possibilités de fonctions optiques qu'ils offrent. Ce sont donc ces deux types de réseaux que nous avons choisi d'étudier. Les processus de réalisation technologique des deux réseaux ont alors été développés. La lithographie par faisceau d'électrons nous permet la réalisation des différents motifs et à été optimisée dans ce but, ainsi que les étapes de gravure. La dernière partie du travail consiste en l'étude, la réalisation et la caractérisation de composants innovants, passifs et actifs, intégrant des réseaux particuliers. Ainsi, nous avons réalisé un filtre passif qui présente une apodisation de son spectre en transmission par l'utilisation d'un réseau surfacique échantillonné. Les résultats de caractérisation montrent la validité du concept. Dans le cadre du projet européen IST-MONOPLA, un laser multisections, comportant une portion de réseau a été réalisé. Les caractérisations mettent en avant le bon fonctionnement du réseau.