Etude des mécanismes de collage des microsystèmes lors de la phase de libération : mise en oeuvre de moyens de prévention
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Auteur / Autrice : | Olivier Raccurt |
Direction : | François Arnaud d'Avitaya |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Physique et sciences de la matière. Science des matériaux |
Date : | Soutenance en 2004 |
Etablissement(s) : | Aix-Marseille 2 |
Partenaire(s) de recherche : | autre partenaire : Université d'Aix-Marseille II. Faculté des sciences |
Mots clés
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