Thèse soutenue

Etude des mécanismes de collage des microsystèmes lors de la phase de libération : mise en oeuvre de moyens de prévention

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Auteur / Autrice : Olivier Raccurt
Direction : François Arnaud d'Avitaya
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Physique et sciences de la matière. Science des matériaux
Date : Soutenance en 2004
Etablissement(s) : Aix-Marseille 2
Partenaire(s) de recherche : autre partenaire : Université d'Aix-Marseille II. Faculté des sciences

Mots clés

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