Thèse soutenue

Outils CAO pour microsystèmes

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Auteur / Autrice : Zein Juneidi
Direction : Bernard Courtois
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Microélectronique
Date : Soutenance en 2003
Etablissement(s) : Grenoble INPG

Résumé

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Le but de cette thèse est de développer une méthodologie de modélisation et de simulation de microsystèmes en se basant sur les outils CAO microélectronique existants. Dans cette thèse, une étude comparative entre les deux flots de conception (microsystème et microélectronique) est exposée, une méthodologie pour gérer le dessin de masque de microsystème est développée, une méthodologie pour la synthèse et l'optimisation de microsystèmes est présentée.