Outils CAO pour microsystèmes
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Auteur / Autrice : | Zein Juneidi |
Direction : | Bernard Courtois |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Microélectronique |
Date : | Soutenance en 2003 |
Etablissement(s) : | Grenoble INPG |
Résumé
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Le but de cette thèse est de développer une méthodologie de modélisation et de simulation de microsystèmes en se basant sur les outils CAO microélectronique existants. Dans cette thèse, une étude comparative entre les deux flots de conception (microsystème et microélectronique) est exposée, une méthodologie pour gérer le dessin de masque de microsystème est développée, une méthodologie pour la synthèse et l'optimisation de microsystèmes est présentée.