Microfluxmètre réalisé par des procédés de gravure et d'électrodéposition : vers une application à la microscopie thermique

par Erwan Lennon

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Frédéric Ayela.

Soutenue en 2003

à Grenoble 1 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Ce projet s'inscrit dans le cadre des microtechnologies et leurs applications. L'application visée ici est la mesure de flux de chaleur (10 microwatts) à des échelles réduites (>100 nm) afin d'obtenir les caractéristiques thermiques locales de solides. Le microfluxmètre réalisé est constitué d'un actionneur 3D en silicium sur lequel sont intégrés une micropointe de chrome et un système de régulation thermique. Le déplacement dans les trois directions de l'espace (résolution < 1 angström, amplitude 10 micromètres) est commandé par voie électrostatique et contrôlé par mesure capacitive. La première partie dresse l'état de l'art de la microscopie thermique et la deuxième décrit la conception du dispositif. Les troisième et quatrième parties illustrent la microfabrication du dispositif. La cinquième partie est consacrée au système de commande et de mesure électronique du déplacement. La sixième partie présente les premières caractérisations des prototypes réalisés.

  • Titre traduit

    Microfluxmeter realised by etching and electroplating means : application to thermal microscopy


  • Pas de résumé disponible.

Autre version

Cette thèse a donné lieu à une publication en 2004 par [CCSD] à Villeurbanne

Microfluxmètre réalisé par des procédés de gravure et d'électrodéposition : vers une application à la microscopie thermique

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 1 vol. (139 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 135-139

Où se trouve cette thèse\u00a0?

  • Bibliothèque : Université Grenoble Alpes (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque et Appui à la Science Ouverte. Bibliothèque universitaire Joseph-Fourier.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : TS03/GRE1/0119
  • Bibliothèque : Université Grenoble Alpes (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque et Appui à la Science Ouverte. Bibliothèque universitaire Joseph-Fourier.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS03/GRE1/0119/D

Cette version existe également sous forme de microfiche :

  • Bibliothèque : Université de Lille. Service commun de la documentation. Bibliothèque universitaire de Sciences Humaines et Sociales.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : 2003GRE10119
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.