Thèse soutenue

Elaboration par pulvérisation cathodique réactive RF de multicouches nanométriques. Corrélation entre la structure, la microstructure et les propriétés mécaniques
FR  |  
EN
Accès à la thèse
Auteur / Autrice : Laurence Maillé
Direction : Pierre Garnier
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Sciences des matériaux
Date : Soutenance en 2003
Etablissement(s) : Evry-Val d'Essonne

Mots clés

FR

Mots clés contrôlés

Résumé

FR  |  
EN

Les résultats présentés dans ce mémoire concernent l'élaboration par pulvérisation cathodique réactive RF de couches minces d'épaisseur nanométrique, ainsi que l'étude de leurs propriétés structurales, microstructurales et mécaniques. L'optimisation des paramètres de dépôt (pression d'argon, puissance de pulvérisation, et pression partielle de gaz réactif dans l'enceinte) des monocouches W, W-O, W-N a permis l'élaboration de multicouches nanométriques des systèmes W-O/W et W-N/W. Les propriétés mécaniques de ces multicouches ont été corrélées à leur microstructure. Divers types de comportements mécaniques sont observés : - Un modèle de Hall-Petch est observé pour les multicouches W-N/W élaborées avec une pression partielle d'azote de 50 %, - La dureté des multicouches W-N/W et W-O/W élaborées avec une pression partielle d'azote ou d'oxygène de 10 % n'est pas fonction de l'épaisseur de la période et est respectivement soit supérieure soit inférieure à la loi de mélange.