Elaboration de films minces de carbone amorphe hydrogéné multifonctions par un procédé plasma utilisant une répartition uniforme de la résonance cyclotron électronique (DECR)

par Fabrice Piazza

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Paul Montgomery.

Soutenue en 2001

à Strasbourg 1 .

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Informations

  • Détails : 262 p.
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