@PHDTHESIS{babou2001,
url = "
		http://www.theses.fr/2001ISAL0083",
title = "Analyse ultime par Spectrométrie de Masses des Ions Secondaires des matériaux de la microélectronique avancée : contribution à l'interprétation des profils de bore dans le silicium",
author = "Baboux, Nicolas",
year = "2001",
pages = "1 vol. (138 p.)",
note = "Thèse de doctorat dirigée par Dupuy, Jean-Claude Dispositifs de l'Electronique Intégrée Lyon, INSA 2001",
note = "2001ISAL0083",
}