Développement et réalisation de structures Silicium et Silicium-Germanium par RTCVD et leur intégration dans les technologies BiCMOS et CMOS avancées

par Pascal Ribot

Thèse de doctorat en Electronique, microélectronique

Sous la direction de Gilbert Vincent, Didier Dutartre et de Jorge Regolini.

Soutenue en 2001

à l'Université Joseph Fourier (Grenoble) , en partenariat avec France Télécom R&D (entreprise) et de STMicroelectronics (Crolles, Isère) (entreprise) .

Le président du jury était Françoise Meyer.

Le jury était composé de Alec Reader.

Les rapporteurs étaient Françoise Meyer, Jacques Derrien.

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Informations

  • Détails : 1 vol. (216 p.)
  • Annexes : Bibliographie p. 183-195

Où se trouve cette thèse\u00a0?

  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire Joseph-Fourier.
  • Disponible pour le PEB

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  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : MF-2001-RIB
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