Ultra-trace analysis of contaminants on silicon wafer surfaces : the development of a Synchrotron Radiation - Total reflection X-Ray Fluorescence (SR-TXRF) facility at the ESRF

par Giorgio Apostolo

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Joël Chevrier et de Fabio Comin.

Soutenue en 2001

à Grenoble 1 , en partenariat avec European synchrotron radiation facility (Grenoble) (laboratoire) .

Le président du jury était Jean-René Régnard.

Le jury était composé de François Tardif.

Les rapporteurs étaient Christina Streli, Pierre Chevallier.

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Informations

  • Détails : 1 vol. (134 f.)
  • Annexes : Notes bibliographiques

Où se trouve cette thèse\u00a0?

  • Bibliothèque : Université Grenoble Alpes (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque et Appui à la Science Ouverte. Bibliothèque universitaire Joseph-Fourier.
  • Disponible pour le PEB

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  • Bibliothèque : Université de Lille. Service commun de la documentation. Bibliothèque universitaire de Sciences Humaines et Sociales.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : 2001GRE10018
  • Bibliothèque : Université Paris-Est Créteil Val de Marne. Service commun de la documentation. Section multidisciplinaire.
  • PEB soumis à condition
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