Ultra-trace analysis of contaminants on silicon wafer surfaces : the development of a Synchrotron Radiation - Total reflection X-Ray Fluorescence (SR-TXRF) facility at the ESRF

par Giorgio Apostolo

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Joël Chevrier et de Fabio Comin.

Soutenue en 2001

à l'Université Joseph Fourier (Grenoble) , en partenariat avec European synchrotron radiation facility (Grenoble) (laboratoire) .

Le président du jury était Jean-René Régnard.

Le jury était composé de François Tardif.

Les rapporteurs étaient Christina Streli, Pierre Chevallier.

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Informations

  • Détails : 1 vol. (134 f.)
  • Annexes : Notes bibliographiques

Où se trouve cette thèse\u00a0?

  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire Joseph-Fourier.
  • Disponible pour le PEB
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