= Analyse des traces des contaminants à la surface des plaquettes de silicium : développement d'un instrument pour SR-TXRF à l'ESRF
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Auteur / Autrice : | Giorgio Apostolo |
Direction : | Joël Chevrier, Fabio Comin |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Physique |
Date : | Soutenance en 2001 |
Etablissement(s) : | Université Joseph Fourier (Grenoble ; 1971-2015) |
Partenaire(s) de recherche : | Laboratoire : European synchrotron radiation facility (Grenoble, Isère, France ; 1988-....) |
Jury : | Président / Présidente : Jean-René Régnard |
Examinateurs / Examinatrices : François Tardif | |
Rapporteurs / Rapporteuses : Christina Streli, Pierre Chevallier |
Mots clés
FR
Mots clés contrôlés
Mots clés libres
Analyse en trace des éléments
Contamination à la surface
Total reflection X-ray fluorescence
Rayonnement de synchrotron
Optique de rayons X
Industries des semiconducteurs
Trace element analysis
Surface contamination
Total reflection X-ray fluorescence
Synchrotron radiation
X-ray optics
Semiconductor industries