TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2000ISAL0060
TI  - Elaboration et caractérisation de films minces de Ta2 O5 pour la réalisation de structures capacitives intégrées sur silicium
AU  - Four, Sandrine
A3  - Autran, Jean-Luc
PY  - 2000
SP  - 1 vol.(174 p.)
N1  - Thèse de doctorat Dispositifs de l’'électronique intégrée Lyon, INSA 2000
N1  - 2000ISAL0060
UR  - http://www.theses.fr/2000ISAL0060/document
ER  -