Réalisation et caractérisation de structures micro-usinées en silicium polycristallin : application aux microsystèmes sur silicium

par Laurence Michelutti

Thèse de doctorat en Microélectronique

Sous la direction de Alain Chovet et de Adrian M. Ionescu.


  • Résumé

    Le micro-usinage de surface est une technologie émergente pour la fabrication de microsystèmes. La principale raison est sa parfaite compatibilité avec les technologies de la microélectronique classique. Le silicium polycristallin en est le matériau de base. Il est utilisé soit comme couche purement mécanique, soit comme matériau sensible. Dans le deuxième cas, ses propriétés électriques sont d’une extrême importance. Le travail présenté ici introduit tout d’abord le silicium polycristallin comme élément constituant de base des microsystèmes, puis présente la technologie de ce matériau très complexe. La méthodologie du plan d’expérience est ensuit appliquée pour déterminer l’influence des paramètres technologiques prépondérants sur les propriétés électriques fondamentales du silicium polycristallin pour les microsystèmes, telles que la résistivité et le bruit base-fréquence pour lequel un nouveau modèle est présenté. On étudie également les effets de la corrosion chimique sur le silicium polycristallin. L’application développée par la suite consiste en la réalisation, par micro-usinage de surface, de microsondes de paroi pour le contrôle actif des turbulences en mécanique des fluides

  • Titre traduit

    Fabrication and characterisation of micromachined structures in polycrystalline silicon : application to silicon microsystems


  • Pas de résumé disponible.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 1 vol. (134 p.)
  • Annexes : Bibliographie p. 107-112. Webographie p. 113-114

Où se trouve cette thèse\u00a0?

  • Bibliothèque : Université Grenoble Alpes (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèques et Appui à la Science Ouverte. Bibliothèque universitaire Joseph-Fourier.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS00/INPG/0016

Cette version existe également sous forme de microfiche :

  • Bibliothèque : Université Grenoble Alpes (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèques et Appui à la Science Ouverte. Bibliothèque universitaire Joseph-Fourier.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : IMAG-2000-MIC
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.