Synthèse hydrothermale et caractérisation de films minces PZT pour actionneurs

Hydrothermal synthesis and characterization of PZT thin films for actuators

• Auteur / Autrice : Papa Amadou Ndiaye
• Direction : Philippe Pernod
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Électronique
• Date : Soutenance en 1999
• Etablissement(s) : Valenciennes

Résumé

Ce travail porte sur l'élaboration et la caractérisation de films minces PZT pour micro-actionneurs. Une nouvelle technique de dépôt par synthèse hydrothermale a basse température (180\c) a été développée. Par ailleurs la variation des quantités utilisées de précurseurs permet de contrôler la composition finale du PZT déposé dans la zone morpho tropique. La microscopie électronique à balayage et la diffraction des rayons x ont été systématiquement utilisées pour analyser la structure et la composition des couches. Les microcristaux sont cubiques et adhérent fortement au substrat. L'épaisseur des dépôts est d'environ 10 m âpres 24 heures de dépôt, ce qui est favorable à la réalisation d'actionneurs. Cette méthode permet de déposer le PZT sur des surfaces variées telles des sphères, des tubes, etc. Les coefficients piézoélectriques d 3 1 (1. 6 pm/v) et d 3 3 (120 pm/v) sont détermines par une méthode d'interférométrie hétérodyne. Le trace du cycle d'hystérésis fournit la polarisation rémanente (pr=3 m/cm 2) et le champ coercitif (ec=18. 7 kv/cm).