Conception, Modélisation, Réalisation et Caractérisation d'un Micro Miroir Actif en Silicium
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Auteur / Autrice : | Gilles Robert |
Direction : | Serge Spirkovitch |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Sciences. Microélectronique |
Date : | Soutenance en 1999 |
Etablissement(s) : | Paris 7 |
Mots clés
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