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des thèses françaises
'%3e%3cpath%20style='fill:%2300a0dc;fill-opacity:1;stroke:none;stroke-width:.144606;stroke-opacity:1;stop-color:%23000'%20d='M41.8%20100.088H52.28c.46%200%20.831.421.831.945v10.25c0%20.524-.37.946-.831.946H41.8c-.46%200-.831-.422-.831-.945v-10.251c0-.524.37-.945.831-.945z'/%3e%3cpath%20d='m47.072%20102.02-4.87%202.656%204.87%202.657%203.985-2.174v3.06h.885v-3.543m-7.969%201.851v1.771l3.1%201.691%203.098-1.691v-1.77l-3.099%201.69z'%20style='fill:%23fff;fill-opacity:1;stroke-width:.442726'/%3e%3ccircle%20style='fill:%23009f1d;fill-opacity:1;stroke:%23fff;stroke-width:.379704;stroke-linecap:round;stroke-linejoin:round;stroke-miterlimit:4;stroke-dasharray:none;stroke-opacity:1;stop-color:%23000'%20cx='54.151'%20cy='101.224'%20r='3.451'/%3e%3cpath%20d='m55.669%2099.387.659.664-3.075%203.104-1.634-1.649.66-.663.974.979%202.416-2.435'%20style='fill:%23fff;fill-opacity:1;stroke:none;stroke-width:.30061;stroke-miterlimit:4;stroke-dasharray:none;stroke-opacity:1'/%3e%3c/g%3e%3c/svg%3e)
Etude des fonctions d'asservissement d'un microscope à effet tunnel optique. Application à l'imagerie de caractérisation de composants électroniques nanométriques
FR
| Auteur / Autrice : | Ari Santoso |
| Direction : | Michel Castagné |
| Type : | Thèse de doctorat |
| Discipline(s) : | Électronique, optronique et systèmes |
| Date : | Soutenance en 1999 |
| Etablissement(s) : | Montpellier 2 |
Résumé
FR
Le microscope a force atomique (afm pour atomic force microscope) et le microscope snom (scanning nearfield optical microscope) permettent d'obtenir respectivement des images de la topographie et du champ proche optique d'une surface. Avant d'appliquer une boucle d'asservissement a un systeme (microscope) il est necessaire d'en caracteriser les differents elements. L'objectif de ce travail est de realiser les commandes (logiciel d'asservissement pid et pi-floue) d'un dispositif permettant d'obtenir simultanement des images afm et pstm.