Ellipsometrie spectroscopique ex situ a plusieurs angles d'incidence : caracterisation de couches massives et de structures multicouches

par STEPHANE COLARD

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Joël Leymarie.

Soutenue en 1998

à Clermont-Ferrand 2 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Ce travail concerne la caracterisation par ellipsometrie et reflectivite de couches massives de tio#2, de ga#0#,#5#2in#0#,#4#8p et de gan, et d'une structure multicouche al#0#,#3ga#0#,#7as/gaas. Apres l'amelioration du dispositif experimental et le developpement de programmes informatiques d'exploitation des mesures, nous nous sommes interesses au choix de l'angle d'incidence. Nous avons propose un moyen de choisir un ou plusieurs angles optimums, c'est a dire ceux qui minimisent l'incertitude sur les resultats. Nous avons mis au point un programme capable de determiner les conditions experimentales optimales mais aussi de calculer les limites de caracterisation par ellipsometrie connaissant les incertitudes experimentales. Les indices optiques de tio#2 et de ga#0#,#5#2in#0#,#4#8p ont ete mesures precisement en choisissant des angles d'incidence optimums. La prise en compte de l'inhomogeneite laterale nous a permis de determiner avec precision les indices de gan dans la zone transparente. L'association de l'ellipsometrie et de la reflectivite permet d'une part de confronter les resultats et d'autre part d'etendre les possibilites de caracterisation. Nous avons ainsi pu caracteriser l'indice de refraction de gan en fonction de la temperature entre 4,5 k et 300 k, et comparer les resultats d'ellipsometrie a ceux de reflectivite a basse temperature dans le cadre de la caracterisation d'une structure multicouche al#0#,#3ga#0#,#7as/gaas.

  • Titre traduit

    Ex situ mutiple angle spectroscopic ellipsometry : characterization of bulk layers and multilayer structures


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  • Détails : 200 P.
  • Annexes : 205 REF.

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