Etude et optimisation de microcapteurs réalisés en GaAs pour la mesure du rayonnement U. V.

par Dorothée Loridant-Bernard

Thèse de doctorat en Électronique

Sous la direction de Monique Constant.

Soutenue en 1997

à Lille 1 .


  • Résumé

    Le travail présente dans ce mémoire consiste en l'étude et la réalisation de nouveaux microcapteurs en arséniure de gallium pour la mesure de la puissance et de l'énergie d'un rayonnement ultraviolet. Les objectifs fixes dans ce travail sont la réalisation de dispositifs microélectroniques de faible coût de fabrication, commodes d'emploi, fonctionnant a température ambiante et adaptes a des applications bien ciblées relevant du génie biologique et médical et du domaine de l'instrumentation miniaturisée. Le premier type de capteur est adapte a la mesure de la puissance et consiste en des structures photoconductrices optimisées par une adaptation correcte de l'épaisseur de la couche active a la profondeur de pénétration du rayonnement ultraviolet dans le matériau. Les performances de ces capteurs en terme de detectivite spécifique, sont légèrement supérieures a celles des photodetecteurs fabriques a partir du silicium et actuellement commercialises. Le second type de dispositif, destine a la mesure de l'énergie du rayonnement et appelé dosimètre, est fabrique a partir du matériau gaas dope si de type n ayant été soumis a un plasma d'hydrogène dont l'effet est la neutralisation de dopants par l'hydrogène atomique. Son fonctionnement est base sur les modifications de ses propriétés électriques dues aux phénomènes de deneutralisation qui apparaissent sous l'influence d'un rayonnement ultraviolet. Enfin, pour mieux évaluer leurs potentialités dans des applications telles que la photothérapie u. V. En dermatologie, nous avons teste leurs performances sur site expérimental, a savoir une minicabine u. V. Respectant les propriétés spectrales et énergétiques d'une cabine de photothérapie. Les résultats obtenus permettent d'ors et déjà d'envisager l'emploi de ces capteurs pour aider les utilisateurs a contrôler l'évolution dans le temps de la puissance émise par les tubes et la présence indésirable d'un rayonnement uvb.

  • Titre traduit

    Study and optimization of gaas microsensors for uv radiation measurement


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  • Cote : 50376-1997-333

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