Dépôts en couches minces et traitements de surface assistés par plasma froid différé d'azote

par Charafeddine Jama

Thèse de doctorat en Spectrochimie, molécules, solides, réactivité

Sous la direction de Odile Dessaux.

Soutenue en 1995

à Lille 1 .


  • Résumé

    Ce travail se rapporte à l'étude de la réactivité spécifique de la post décharge micro onde d'azote en écoulement. Celle-ci est mise à profit pour améliorer les performances d'adhésion de différents matériaux (poly éther-éther-cetone, carbone graphite, polyéthylènetéréphtalate et polycarbonate). L'incorporation en surface d'azote et d'oxygène après traitement par plasma d'azote du matériau est mise en évidence alors que seul l'oxygène est détecte lorsque ce plasma est dope d'oxygène. Sur la base des résultats des caractérisations XPS et ellipsometrie IR un mécanisme de fonctionnalisation du polycarbonate par plasma d'azote est propose. Ce procédé de post décharge d'azote est également utilisé pour la synthèse de dépôts en couches minces par polymérisation de composés organosilicés volatils. L'addition d'oxygène au monomère entraîne une très forte augmentation de la vitesse de dépôt. Des films denses et isolants sont déposés à température ambiante avec des vitesses de croissance pouvant atteindre 300 Angströms/s. Des études par spectroscopies IR et Raman permettent d'établir que les films obtenus à partir des alkoxysilanes sont de type Si O2 amorphe. Des films de type polysiloxazanes sont obtenus en présence du Tétraméthyldisilazane. Les réactions de la phase gazeuse sont proposées à la lumière des résultats en spectroscopie optique d'émission. La modification de la composition chimique de la surface du dépôt obtenu à partir du Tétraméthyldisiloxane (TMDS) après vieillissement dans le plasma entraîne la formation en surface d'une structure proche de la silice. Les dépôts issus du TMDS se révèlent être d'efficaces barrières à la diffusion d'espèces ioniques contenues dans des bouchons caoutchouteux à usage pharmaceutique. Des travaux préliminaires concernent l'élaboration de dépôts durs et nitrure de carbone de type CNx par plasma d'azote induit par laser infrarouge.

  • Titre traduit

    Thin films deposition and surface treatment assisted by cold remote nitrogen plasma


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  • Cote : 50376-1995-212

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  • Cote : 1995LIL10105
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