Caractérisation électrique et optique de couches GaAs hétéroépitaxiees sur substrat InP et analyse des dispositifs MESFETs fabriques sur ces couches
Auteur / Autrice : | Abdeslem Ben Hamida |
Direction : | Georges Brémond |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Electronique |
Date : | Soutenance en 1995 |
Etablissement(s) : | Lyon, INSA |
Ecole(s) doctorale(s) : | Ecole doctorale Mécanique, Energétique, Génie Civil, Acoustique (Villeurbanne2011-....) |
Partenaire(s) de recherche : | Laboratoire : LPM - Laboratoire de Physique de la Matière (1961-2007) |
Mots clés
Mots clés contrôlés
Résumé
Sa simplicité d'élaboration et ses performances élevées font du MESFET GaAs/lnP un composant tout à fait adapté à une utilisation dans les circuits optoélectroniques intégré monolithiques fabriqués sur substrat lnP. Ce travail a pour objectif essentiel l'étude des défauts électriquement actifs dans les couches GaAs hétéro-épitaxiées sur lnP et la compréhension de l'influence de ceux-ci sur les caractéristiques de fonctionnement des transistors MESFETs fabriqués sur ce matériau. L'interprétation du mécanisme qui induit une surcompensation des couches GaAs/lnP par rapport à celles de GaAs/GaAs a pu être mieux expliquée grâce à ne caractérisation complète par spectroscopie d'admittance (DLTS : Deep Level Transfert Spectroscopy), de photoluminescence, d'absorption dans l'infrarouge et de photoréflectance. Nous avons pu montrer que le caractère disloqué de ces hétérostructures induit une compensation partielle des porteurs non seulement par les centres profonds créés mais aussi par l'incorporation du silicium dans des sites cristallins complexés autres que donneurs. Grâce à une caractérisation électrique détaillée des caractenstiques du composant MESFET et des défauts électriquement actifs présents dans ce transistor nous avons été en mesure d’interpréter l'Influence des niveaux profonds de l' hetero-epitaxie sur ses performances. En particulier, une optimisation de l'épaisseur de la couche tampon et des traitements thermiques appliqués a pu être suivie et corrélée à l'action des défauts profonds.