Analyse fréquentielle d'image pour une résolution subpixel : Etude d'un système nanolidar appliqué à la localisation des défauts dans les composants III-V

Spatial frequency image analysis for subpixel resolution. Study of a nanolidar system applied to the localisation of defectsin iii-v devices

• Auteur / Autrice : Habib Mtimet
• Direction : Jean-Pierre Fillard
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Électronique, optronique et systèmes
• Date : Soutenance en 1994
• Etablissement(s) : Montpellier 2

Mots clés

Mots clés contrôlés

Résolution (chimie)

Composés semiconducteurs

Simulation par ordinateur

Analyse informatique

Fourier, Transformations de

Fonction de transfert optique

Diffraction

Traitement d'images

Résumé

La resolution des images recueillies par les capteurs ccd est limitee d'une part par le phenomene de diffraction du systeme optique utilise et d'autre part par un phenomene de double quantification: spatiale et dynamique, subi par l'image. Ces deux limitations physiques sont considerees afin d'obtenir une meilleure precision. Deux methodes de super resolution centroide et glissement de la phase de fourier (fps) sont etudiees et comparees grace a une simulation. Une resolution subpixel concernant la localisation du centre d'une image est obtenue. L'etude est ensuite generalisee a la realisation experimentale d'un systeme nanolidar destine a localiser avec une grande precision les microprecipites dans les composants iii-v. Des images de diffraction d'un microprecipite pour differents plans de defocalisation sont acquises, formant ainsi un signal tridimensionnel: la reponse impulsionnelle (psf) du systeme optique utilise. Un logiciel de calcul de la transformee de fourier tridimensionnelle (fft 3-d) est developpe. Applique aux images de diffraction, ce logiciel permet a partir de la phase du spectre de fourier obtenu (fto 3-d du systeme optique), la localisation, a l'echelle submicronique, des microprecipites dans les materiaux. La precision evaluee est nanometrique