Composés organométalliques précurseurs de carbure et de nitrure de vanadium par dépôt chimique en phase vapeur

par Olivier Cyr-Athis

Thèse de doctorat en Science des matériaux

Sous la direction de Robert Choukroun.

Soutenue en 1994

à Toulouse, INPT .


  • Résumé

    Jusqu'a present l'obtention des ceramiques carbure et nitrure de vanadium, par depot chimique en phase vapeur, necessitaient l'utilisation de hautes temperatures (de l'ordre de 1000c). L'emploi de precurseurs organometalliques permet de diminuer fortement ces temperatures. Dans ce cadre, notre travail consiste a verifier la faisabilite de films de nitrure ou de carbure de vanadium a partir de differents composes choisis selon des criteres predefinis. Pour chacun des composes: nous rappelons la mise au point de la synthese; nous faisons l'etude thermique par analyse thermique gravimetrique et differentielle a la fois a pression atmospherique et a pression reduite; les depots sont faits dans un appareillage a mur chaud sous gaz vecteur neutre (azote), a pression reduite et pour des temperatures inferieures ou egales a 600c; les depots obtenus sont caracterises en microscopie electronique a balayage, en spectrometrie de dispersion d'energie et en spectrometrie des photoelectrons induits par rayons x. A la suite d'une etude sur neuf composes du vanadium, certains n'ont pas donne de resultats satisfaisants dans nos conditions experimentales: le vanadocene (pas de depots a moins de 600c); le dichlorovanadocene, le dichloro bis (methylcyclopentadienyl) vanadium, le trichloro (p-tolylimido) vanadium (depots de carbure de vanadium uniquement sur silicium); le tris bis(trimethylsilyl)amido vanadium (depots contenant du silicium, du carbone et du vanadium). Nous avons degage quelques composes comme le chloro bis(cyclopentadienyl) vanadium et l'azobenzene bis(cyclopentadienyl) vanadium le dimethyl bis (cyclopentadienyl) vanadium, le bis (tertiobutylcyclopentadienyl) vanadium susceptibles d'etre transferes en aval, a des laboratoires specialises en depot chimique en phase vapeur, afin de poursuivre leur etude en tant que precurseur de carbure ou de nitrure de vanadium

  • Titre traduit

    Organometallic compounds precursors of vanadium carbide and nitride by chemical vapor deposition


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Informations

  • Détails : 192 f.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Réf. bibliogr. en fin de chapitres

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  • Bibliothèque : École nationale supérieure d'ingénieurs en arts chimiques et technologiques. Médiathèque.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TG 1994 CYR

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  • Bibliothèque : Université de Lille. Service commun de la documentation. Bibliothèque universitaire de Sciences Humaines et Sociales.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : 1994INPT021G
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