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Thèse soutenue

Réalisation d'un ellipsomètre spectroscopique à modulation de phase : calibrages, tests et applications en microélectronique

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Auteur / Autrice :  Sutrisno
Direction : Claude Llinares
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Composants, signaux et systèmes
Date : Soutenance en 1992
Etablissement(s) : Montpellier 2

Résumé

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Ce travail concerne la realisation d'un ellipsometres spectroscopique a modulation de phase dans la gamme de longueur d'onde de 240 nm a 750 nm. Le principe de base consiste a caracteriser l'etat de polarisation de l'onde, apres l'interaction avec la surface a analyser par la mesure des parametres ellipsometriques psi et delta. Nous avons realise des logiciels permettant d'effectuer des mesures en automatique, soit en fonction de la longueur d'onde soit en fonction du temps. Nous avons decrit le fonctionnement du modulateur photoelastique a l'aide d'un modele faisant intervenir une birefringence residuelle statique, que nous avons mesurees en fonction de la longueur d'onde. Apres avoir effectue la calibration de chaque composant optique et electronique de l'appareillage, nous avons montre que l'incertitude de notre ellipsometre etait de 0. 1% pour psi et inferieur a 0% pour delta. Nous avons rapporte les resultats de l'application de notre ellipsometre dans le cas d'analyse des oxydes natifs sur substrat de si, gaas, inp et gasb, de silice deposee sur substrat de silicium et l'effet de decapage chimique de l'oxyde natif sur si et gasb. Nous avons developpe une methode de minimisation permettant de determiner les compositions des couches de silice et les interfaces entre oxydes et semiconducteurs