TY  - THES
DP  - 
		http://www.theses.fr/1989STR13099
TI  - Croissance et caracterisation de films ultra-minces d'oxydes de silicium formes sous bombardement electronique en surface du silicium (100)
AU  - SEFSAF, BENAFGOUI
A3  - Carrière, Bernard
PY  - 1989
N1  - Thèse de doctorat Physique Strasbourg 1 1989
N1  - 1989STR13099
ER  -