Croissance et caracterisation de films ultra-minces d'oxydes de silicium formes sous bombardement electronique en surface du silicium (100)

par BENAFGOUI SEFSAF

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Bernard Carrière.

Soutenue en 1989

à l'Université Louis Pasteur (Strasbourg) .

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  • Résumé

    Ce travail s'inscrit dans le cadre general des recherches relatives a la physicochimie des surfaces et interfaces du silicium. L'approche privilegiees est d'acceder a une nouvelle connaissance de leur structure electronique et des liaisons chimiques mises en jeu. L'objectif de l'etude plus specifiquement, par analyse auger et spectroscopie de pertes, l'influence du bombardement electronique sur l'oxydation de la face (100) du silicium monocristallin, a temperature ambiante. Au-dela la caracterisation du mode de formation de l'interface si-sio#2, la question principale concerne la possibilite d'utiliser de tels oxydes ultra-minces dans l'elaboration de structures du type pos. Plusieurs conclusions se degagent de ce travail. La premiere est une confirmation de l'efficacite des electrons dans le processus d'oxydation et du role determinant des secondaires. Apres que l'influence des differents parametres experimentaux ait ete analysee, la mise en uvre conjointe de l'aes et de l'els permet de decrire l'oxyde forme en surface de si (100) comme une silice probablement desordonnee avec une couche d'interface formee d'un melange d'entites sio#x sous-stoechiometriques en conformite avec un modele rbm (random bonding model). Enfin, l'etude de la croissance du cobalt, a temperature ambiante, sur cet oxyde electronique et en mode thermique d'epaisseur equivalente met en evidence une moins bonne tenue de l'oxyde electronique devant la possibilite de diffusion du metal

  • Titre traduit

    Growth and characterization of ultrathin oxide layers assisted by electron bombardment on si (100) surfaces


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Informations

  • Annexes : 60 REF

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  • Bibliothèque : Université de Strasbourg. Service des bibliothèques. Bibliothèque L'Alinéa.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : Th.Strbg.Sc.1989;642
  • Bibliothèque : Université de Strasbourg. Service des bibliothèques. Bibliothèque L'Alinéa.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : H 503.000,1989
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