Contribution à l’étude des phénomènes limitant la fiabilité des lignes conductrices en aluminium des circuits VLSI : rôle de l'électromigration et des contraintes d'origine thermique

par Bruno Bacconnier

Thèse de doctorat en Dispositif de l'électronique intégrée

Sous la direction de Gérard Lormand.


  • Résumé

    Les métallisations en aluminium des circuits intégrés s ont soumises à des contraintes thermomécaniques, au cours de l'élaboration des dispositifs,et électriques, au cours de leur fonctionnement, qui limitent leur faisabilité et leur fiabilité. L'étude de ces phénomènes a été réalisée grâce à la mise au point d'une méthode d'analyse statistique originale des profilogrammes de la surface des films et d'un logiciel de test d'électromigration qui pilote un ensemble de 64 générateurs de courant indépendants. Les caractéristiques des excroissances d'origine thermique ont été reliées quantitativement à la texture des films et à la vitesse de chauffage. Ces résultats et une modélisation de la relaxation des contraintes induites par un traitement thermique montrent quantitativement que la formation des excroissances résulte d'un transport de matière contrôlé par la diffusion intergranulaire. Les comportements sous électromigration des matériaux testés ont été caractérisés par la mesure de l'évolution temporelle de la résistance électrique. Une simulation de cette évolution a également été effectuée. La localisation des excroissances d'électromigration sur les lignes de test a été expliquée à l'aide de leurs textures, de leurs dimensions et de leurs compositions. L'ensemble des résultats montre l'importance d'associer l'étude des effets électriques à celle des effets thermomécaniques dans les films minces d'aluminium.

  • Titre traduit

    = Contribution to the study of phenomena limiting VLSI circuit aluminum conducting lines fiability : role of electromigration and thermal stress


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Informations

  • Détails : 1 vol. (158 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le juryDonnées extraites des formulaires d'enregistrement des thèses soutenues
  • Annexes : Bibliogr. p. 135-148

Où se trouve cette thèse\u00a0?

  • Bibliothèque : Institut national des sciences appliquées (Villeurbanne, Rhône). Service Commun de la Documentation Doc'INSA.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : C.83(1082)

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  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : 1989ISAL0001
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