Ellipsométrie et mesure de température de surface

par Bariza Boutarfa

Thèse de doctorat en Sciences. Sciences des matériaux

Sous la direction de Ange Erbeia.

Soutenue en 1988

à Lyon 1 .

Le président du jury était Ange Erbeia.

mots clés

• Réflexion (optique)
• Lumière -- Propagation
• Métaux -- Surfaces
• Ellipsométrie
• Température

Résumé

Rappel de dla theorie de la reflexion d'ondes lumineuses sur une surface metallique en fonction de l'angle d'incidence, de la polarisation et des proprietes electriques complexes du metal. Presentation d'une theorie succinte de l'ellipsometrie. Etude des proprietes electriques d'une couche d'or epaisse sur une plaquette de silicium en fonction de la temperature de surface a l'aide de la methode d'archer

Titre traduit

Surface temperature measurement by ellipsometric method

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