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des thèses françaises
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Elaboration et caractérisation des structures germanium-isolant
FR |
EN
| Auteur / Autrice : | Zineb Benamara |
| Direction : | Stanislaw Krawczyk |
| Type : | Thèse de doctorat |
| Discipline(s) : | Électronique |
| Date : | Soutenance en 1988 |
| Etablissement(s) : | Ecully, Ecole centrale de Lyon |
| Partenaire(s) de recherche : | Laboratoire : Laboratoire d'électronique, optoélectronique et microsystèmes (Ecully, Rhône) |
Mots clés
FR
Mots clés contrôlés
Résumé
FR
Le travail est realise en vue d'obtenir de bonnes proprietes electroniques de l'interface, compatibles avec la realisation des dispositifs mis sur le materiau germanium isolant. Nous avons developpe quatre principales etapes technologiques: 1) polissage du substrat; 2) traitement et controle de la surface avant le depot d'isolant; 3) depot d'isolant; 4) traitement apres le depot d'isolant. Les proprietes physico-chimiques de la surface ont ete analysees par spectroscopie d'electron auger et xps (x-ray electron spectroscopy)