Transfert optique du microscope en éclairage partiellement cohérent : cas des objets minces et épais

par Georges Bou Debs

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Jacques F. Duvernoy.

Soutenue en 1988

à Besançon .

mots clés

• Microscopie
• Fonction de transfert optique

Résumé

Mecanisme de formation des images dans le cas d'objets minces de profil rectangulaire et dans le cas d'objets epais. Dans ce second cas, on propose un modele regissant le transfert optique en calculant la propagation de l'intensite mutuelle depuis la source jusqu'au plan image. Application a des mesures dimensionnelles sur des motifs graves sur des circuits integres

Titre traduit

Optical transfer in a microscope with partially coherent light in the case of thin or thick objects

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