Etude de la fonctionnalisation de structures Si/SiO2 : :(2), Application à la réalisation d'un capteur ionosensible
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Auteur / Autrice : | Pierre Bataillard |
Direction : | Claude Martelet, Nicole Jaffrezic-Renault |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Sciences. Microélectronique |
Date : | Soutenance en 1987 |
Etablissement(s) : | Ecully, Ecole centrale de Lyon |
Partenaire(s) de recherche : | Laboratoire : Laboratoire de physique chimie des interfaces (Ecully, Rhône) |
Mots clés
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