Etude thermodynamique et expérimentale du dépôt chimique en phase vapeur du phosphure d'indium

par Françoise Defoort

Thèse de doctorat en MétallurgieChimie

Sous la direction de Claude Bernard.

Soutenue en 1986

à Grenoble INPG , en partenariat avec Ecole nationale supérieure d'électrochimie et d'électrométallurgie (Grenoble) (autre partenaire) .


  • Résumé

    Depot par la methode epitaxiale en phase vapeur aux hydrures (ph::(3)/h::(2)/hcl/in). Mise en evidence de la presence et du role des especes gazeuses dans le mecanisme de depot. Determination de la limite "croissance/decapage". Decomposition incomplete de la phosphine dans le reacteur

  • Titre traduit

    Thermodynamic and experimental study of chemical vapor deposition of indium phosphide


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Informations

  • Détails : 1 vol. (242 p.)
  • Annexes : Bibliogr. p. 223-226

Où se trouve cette thèse\u00a0?

  • Bibliothèque : Université Grenoble Alpes (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèques et Appui à la Science Ouverte. Bibliothèque universitaire Joseph-Fourier.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS 86/INPG/0126
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