Contribution à l'étude des siliciures pour la microélectronique

par Olivier Thomas

Thèse de doctorat en Sciences des matériaux

Sous la direction de Jean-Pierre Sénateur et de Roland Madar.

Soutenue en 1986

à Grenoble INPG , dans le cadre de Institut national polytechnique. Département des études doctorales (Grenoble) , en partenariat avec Laboratoire des matériaux et du génie physique (Grenoble) (laboratoire) .

Le président du jury était Alain Deneuville.

Le jury était composé de Alexandre Revcolevschi, Pierre Pinard, G. Bomchil.

  • Titre traduit

    Silicides for use in microelectronics


  • Pas de résumé disponible.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 1 vol. (138 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. en fin de chapitres

Où se trouve cette thèse\u00a0?

  • Bibliothèque : Université Grenoble Alpes (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque et Appui à la Science Ouverte. Bibliothèque universitaire Joseph-Fourier.
  • Accessible pour le PEB
  • Bibliothèque : Université Grenoble Alpes (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque et Appui à la Science Ouverte. Bibliothèque universitaire Joseph-Fourier.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS 86/INPG/0069
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.