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Romuald Blanc

est l'auteur d'une thèse

Espaceur Gravure Gravure par plasma Plasma Pulsé

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Espaceur Gravure Gravure par plasma Plasma Pulsé

Romuald Blanc a rédigé la thèse suivante :

Développement et caractérisation de procédés de gravure des espaceurs Si3N4 pour les technologies FDSOI

par Romuald Blanc sous la direction de Olivier Pierre Etienne Joubert et de François Leverd . - Grenoble

Nanoélectronique et nanotechnologie

Soutenue le 02-06-2014

Thèse soutenue

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