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Romuald Blanc

est l'auteur d'une thèse

Espaceur  Gravure  Gravure par plasma  Plasma  Pulsé  
Fullscreen

Espaceur  Gravure  Gravure par plasma  Plasma  Pulsé  

Romuald Blanc a rédigé la thèse suivante :

Développement et caractérisation de procédés de gravure des espaceurs Si3N4 pour les technologies FDSOI

par Romuald Blanc sous la direction de Olivier Pierre Etienne Joubert et de François Leverd . - Grenoble

Nanoélectronique et nanotechnologie
Soutenue le 02-06-2014
Thèse soutenue

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