Serge Rigo
Serge Rigo a dirigé les 14 thèses suivantes :
Mecanismes d'oxynitruration thermique du silicium et de la silice sous monoxyde d'azote
par Laurent Gosset sous la direction de Serge Rigo - Paris 7
Physique
Soutenue en 2000
Conception et realisation d'un capteur a effet peltier pour la detection de la condensation - application au desembuage preventif
par PASCAL ANCEY sous la direction de Serge Rigo - Paris 7
Physique
Soutenue en 1997
Etude par la methode sims de la nitruration thermique sous ammoniac de couches epaisses d'oxyde de silicium
par ERIC BREELLE sous la direction de Serge Rigo - Paris 7
Chimie
Soutenue en 1996
Operateurs lineaires et non-lineaires en cmos
par HASSAN CHAOUI sous la direction de Serge Rigo - Paris 7
Sciences appliquées
Soutenue en 1996
Etude de la croissance de films minces obtenus par oxydation et nitruration thermiques du silicium poreux : influence sur la morphologie, les defauts et la photoluminescence
par Valérie Morazzani sous la direction de Serge Rigo - Paris 7
Physique
Soutenue en 1996
Application du tracage isotopique a l'oxygene 18 a l'etude des mecanismes de transport atomique impliques dans l'oxydation thermique du silicium sous oxygene sec
par ISABELLE TRIMAILLE sous la direction de Serge Rigo - Paris 7
Chimie
Soutenue en 1994
Fabrication et etude d'un micromoteur electrostatique en microtechnologie silicium
par HOCINE ZIAD sous la direction de Serge Rigo - Paris 7
Sciences appliquées
Soutenue en 1994
La soudure directe silicium/silicium. Applications aux capteurs integres
par LIONEL BABADJIAN sous la direction de Serge Rigo - Paris 7
Sciences appliquées
Soutenue en 1992
Mecanismes de croissance de dielectriques par nitruration et par oxydation thermique rapide du silicium
par JEAN-JACQUES GANEM sous la direction de Serge Rigo - Paris 7
Physique
Soutenue en 1992
Depot de nitrure de silicium et d'oxynitrure de silicium sur semi-conducteurs iii-v par thermie rapide
par FREDERIC LEBLAND sous la direction de Serge Rigo - Paris 7
Sciences appliquées
Soutenue en 1992
Caracterisation physico-chimique du silicium implante avec du bore ou de l'arsenic a forte dose, recuit par des procedes rapides (rta)
par CORINNE LE ROUX sous la direction de Serge Rigo - Paris 7
Physique
Soutenue en 1991
Etude xps des interfaces polyimide/isolant
par OLIVIER FLAMENT sous la direction de Serge Rigo - Paris 7
Sciences appliquées
Soutenue en 1990
Nitruration du silicium : application à l'isolation de champ des transistors MOS submicroniques
par Pascale Molle sous la direction de Serge Rigo - Grenoble INPG
Micro-électronique
Soutenue en 1989
Etude des elements parasites et de leur impact sur les performances des circuits cmos-vlsi
par Eric Estève sous la direction de Serge Rigo - Paris 7
Sciences appliquées
Soutenue en 1987
